«Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) поставит первый российский литограф с разрешением 350 нанометров — компании «Отраслевые решения». Разработка велась совместно с белорусской компанией «Планар» в рамках тендеров Минпромторга, выигранных ЗНТЦ в 2021 г. Работы по литографу были завершены весной 2025 г. Сейчас идет работа над следующим поколением — оборудованием с разрешением 130 нм.

Литограф предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) с проектной топологической нормой 350 нм. Эти нормы используются для изготовления элементной базы в силовой и автоэлектронике, а также в промышленных системах, пишет CNews.

Оборудование создано для обеспечения технологической независимости и предназначено для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств.