Разработка велась совместно с белорусской компанией «Планар» в рамках тендеров Минпромторга, выигранных ЗНТЦ в 2021 г. Работы по литографу были завершены весной 2025 г. Сейчас идет работа над следующим поколением — оборудованием с разрешением 130 нм.
